Solvay와 협력사가 환경 친화적 신기술과 오염물질 배출을 감소하기 위해서 EcoFlour 프로젝트를 실시

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2015년 12월 10일, Solvay CBU 특수화학 및 텍사스 협력체인 Muegge 와 Fraunhofer EMET는 불소 가스 혼합물 대체재를 사용하여 반도체를 제조하는 동안 반도체 산업장 내에서 사용되는 박막 도구에 의해 배출 되어지는 온실가스를 감소하는 노하우와 기술을 결합시킵니다. Ecoflour 이라 불려지는 이 프로젝트는 연구 및 교육의 독일 연방정부로부터 지원받으며, 2016년 1월 1일에 실시됩니다.

이 프로그램은 반도체 산업에서 화학 증착 공법(CVD)에 의한 새로운 세정 공법에 초점을 두고 있으며, 

주요한 3가지 세정 가스인 헥사플루오로에탄(C2F6), 테트라플루오르메탄(NF3), 삼플루오르화질소(NF3)를 F2/N2/Ar 혼합물에 기초한 혼합 가스로 대체되어 집니다.

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“Ecoflour 세정 대체재는 온실가스 배출을 감소시키며, 나아가 사용자의 프로세스 효율성을 증가시킬 것이며, 한국과 독일의 공장에서 새로운 F2 혼합가스를 생산할 것이다.” 라고 CBU 특수화학의 상업이사인 Rodrigo Elizondo 말하였습니다.

이와 같은 대체재는 환경 영향에 의미를 가진다고 고려 되어지며, 현재 가장 폭넓게 사용되어지는 삼플루오르화질소 세정가스는 환경위험잠재력(GWP)이 이산화탄소의 17,200배로 갖고 있으나, 반면에 대체재는 이산화탄소와 동일한 환경위험잠재력(GWP)을 갖고 있어 현재 쓰여지는 세정가스의 사용량이 급감할 것으로 보입니다.

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앞으로 이 프로젝트는 생산설비에서 새로운 세정 공법의 검증과 최적화를 포함한 주요 이정표와 함께 3년동안 실시 되어지며, 최종적으로 산업 생산에 쓰여질 것입니다.